R116制冷劑（六氟乙烷，C₂F₆）

R-116制冷劑，別名R116、氟利昂116、PFC-116，商品名稱有Reflube 116、Freon 116等，中文名稱六氟乙烷，英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，化學(xué)式C₂F₆。R-116屬于FC類物質(zhì)——對(duì)臭氧層沒(méi)有破壞、但存在溫室效應(yīng)；目前對(duì)于R116制冷劑的生產(chǎn)、銷售以及在新制冷設(shè)備上的初裝、售后設(shè)備上的再添加均沒(méi)有限制。

R-116主要用途

R-116作為一款特種超低溫制冷劑，主要應(yīng)用于要求溫度非常低的深冷設(shè)備中（包括科研制冷、醫(yī)用制冷等），R116同時(shí)也是超低溫配合冷媒的重要組分。六氟乙烷是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。

R-116物化性質(zhì)

R-116冷媒包裝

可重復(fù)使用高壓鋼瓶包裝（需回收包裝鋼瓶）：5kg/瓶，10kg/瓶，40kg/瓶。

R-116儲(chǔ)存、運(yùn)輸

R-116制冷劑鋼瓶為高壓容器，儲(chǔ)存時(shí)應(yīng)遠(yuǎn)離火種、熱源、避免陽(yáng)光直接曝曬，通常儲(chǔ)放于陰涼、干燥和通風(fēng)的倉(cāng)庫(kù)內(nèi)；搬運(yùn)時(shí)應(yīng)輕裝、輕卸，防止鋼瓶以及閥門等附件破損。

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