四氟化碳，四氟甲烷，CF₄

四氟化碳（四氟甲烷，CF₄）物理化學(xué)性質(zhì)

四氟甲烷（Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane），亦稱四氟化碳、全氟化碳，PFC-14（R-14），化學(xué)式CF₄，商品名稱Reflube 14，相對(duì)分子量88.00。在常溫下，四氟甲烷是無(wú)色、無(wú)臭、不燃，不溶于水的可壓縮性氣體。沸點(diǎn)-128℃，熔點(diǎn)-183.6℃。液體密度（-130℃）1.613g/cm³，臨界溫度-45.67℃，臨界壓力3.74MPa，蒸氣壓（-150.7℃）13.33kPa，介電常數(shù)（25℃，0.5MPa）1.0006。揮發(fā)性較高，是最穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一，在900攝氏度時(shí)，不與鋼、鎳、鎢、鉬反應(yīng)，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25攝氏度及0.1MPa下其溶解度為0.0015％（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時(shí)， 會(huì)分解產(chǎn)生有毒氟化物，危險(xiǎn)性類別為第2.2類不燃?xì)怏w。

四氟化碳（四氟甲烷，CF₄）用途

四氟甲烷（R-14）是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、超低溫制冷劑、泄漏檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。

四氟化碳（四氟甲烷，CF₄）包裝

可重復(fù)使用高壓鋼瓶包裝（需回收包裝鋼瓶）：20kg/瓶，35kg/瓶。

四氟化碳（四氟甲烷，CF₄）產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)（QUALITY STANDARD FOR CF₄）

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