|
四氟甲烷CF4
物理化學(xué)性質(zhì)
四氟甲烷（Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane），亦稱四氟化碳，全氟化碳，F(xiàn)C-14（R-14）。化學(xué)式CF4。相對分子量88.00。在常溫下，四氟化碳是無色、無臭、不燃，不溶于水的可壓縮性氣體。沸點-128℃，熔點-183.6℃。液體密度（-130℃）1.613g/cm3，臨界溫度-45.67℃，臨界壓力3.74MPa，蒸氣壓（-150.7℃）13.33kPa，介電常數(shù)（25℃，0.5MPa）1.0006。揮發(fā)性較高，是最穩(wěn)定的有機化合物之一，在900攝氏度時，不與鋼、鎳、鎢、鉬反應(yīng)，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25攝氏度及0.1MPa下其溶解度為0.0015％（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時， 會分解產(chǎn)生有毒氟化物，危險性類別為第2.2類不燃?xì)怏w。 用途
四氟甲烷是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、超低溫制冷劑、泄漏檢驗劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。 包裝運輸
四氟甲烷對金屬、合金不腐蝕，可用無縫鋼瓶和鋁合金容器裝運，充瓶壓力通常低于12.5MPa，按壓縮氣體運輸，鋼瓶每五年檢驗一次，國外規(guī)定可用汽車、火車、輪船和飛機運輸，國內(nèi)目前無規(guī)定。鋼瓶包裝（14MPa）（DOT-3AA GB-5099)，閥門（CGA-580/590,QF-2），32kg/48.8L，30kg/43.3L ，5kg/8L，2.5kg/4L。 四氟甲烷產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)（QUALITY STANDARD FOR CF4） | 指標(biāo)名稱 | 高純級 | 優(yōu)級品 | 一級品 | | 含量，%（v/v）≥ | 99.99 | 99.9 | 99 | | 氮氣，%（v/v）≤ | 0.002 | 0.03 | 0.3 | | 氧氣，%（v/v）≤ | 0.0005 | 0.01 | 0.1 | | 水份，ppm ≤ | 5 | 5 | 10 | | 二氧化碳，ppm ≤ | 5 | 10 | 800 | | 氟化碳，ppm ≤ | 15 | 20 | - | | 酸度，（HF）ppm ≤ | 0.1 | 1 | - | | 六氟化硫，ppm ≤ | - | - | 600 |
|
